股票代码：300460

产品资讯

石英晶体谐振器

晶体谐振器

AS 系列（1210 AnSn）

1S 系列 (1612)

9S 系列 (2016)

2S 系列 (2520)

3S 系列 (3225)

汽车级晶体谐振器

9Y 系列 (2016 Automotive)

2Y 系列 (2520 Automotive)

3Y 系列 (3225 Automotive)

热敏晶体谐振器

通用热敏晶体

1Z 系列 (1612)

9Z 系列 (2016)

2Z 系列 (2520)

车用热敏晶体

9K 系列（2016 Automotive）

音叉晶体

音叉晶体谐振器（KHz）

1SQ 系列(1610)

2SQ 系列 (2012)

3SQ 系列 (3215)

7SQ 系列 (7015)

（压控）温补振荡器

温补振荡器

1T 系列 (TCXO D-Type1612)

9T 系列 (TCXO 2016)

2T 系列 (TCXO 2520)

3T 系列 (TCXO 3225)

压控温补振荡器

2W 系列 (VC-TCXO 2520)

3W 系列 (VC-TCXO 3225)

晶体振荡器

9C 系列 (2016 MHz)

2C 系列 (2520 MHz)

3C 系列 (3225 MHz)

5C 系列 (5032 MHz)

7C 系列 (7050 MHz)

汽车级晶体振荡器

9L 系列 (2016 Automotive)

2L 系列 (2520 Automotive)

3L 系列 (3225 Automotive)

5L 系列 (5032 Automotive)

7L 系列 (7050 Automotive)

差分振荡器

3D 系列（3225 LVDS）

5D 系列（5032 LVDS）

7D 系列（7050 LVDS）

3P 系列（3225 LV-PECL）

5P 系列（5032 LV-PECL）

压控振荡器

7V 系列（7050）

产品应用

车机

网通

工业

穿戴、IOT

手机、通信模块

品质保障

PRODUCT_PROCESS

Quality_Control

Quality_System

Reliable_Testing

Environmental_Report

FAQ

关于我们

COMPANY_INTRODUCTION

HISTORICAL_EVOLUTION

Original_Factory

AUTHORIZED_AGENT

AWARD_CERTIFICATION

LATEST_NEWS1

RECRUITING

投资人专区

Financial_Information

Corporate_Lecture

Shareholder_Column

Corporate_Governance

CNINF

GOOD_DAY_TODAY

My_Account

飞秒激光辅助制造下，以压电驱动结晶石英为基础的MEMS谐振器工艺。

Apr 20,2023
300 VIEWS

介绍了一种用于MEMS应用的石英谐振器精确制造的新技术。这种方法基于石英的激光诱导化学蚀刻。主要加工步骤包括飞秒紫外激光处理Cr Au涂覆的Z切割α石英晶片，然后进行湿法蚀刻。激光图案化Cr-Au涂层用作蚀刻掩模并且用于形成用于压电致动的电极。这种制造方法改变石英的晶体结构或其压电财产。缺陷的形成，这在通过优化工艺参数和控制时间行为来防止激光微加工石英激光与物质的相互作用。该工艺不涉及任何光刻，并允许进行高几何设计灵活性压电致动梁型谐振器的几种配置是使用相对温和的湿法蚀刻条件，并通过实验证明了它们的功能。设备是有区别的通过降低所制造的石英结构的表面粗糙度和改进的壁轮廓而从先前的努力中获得。

获取更多，请邮件luojunjie@piezoman.com 索取，谢谢！

PRODUCT